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      勻膠顯影蝕刻專業生產商
      


      


      


      

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      Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
      

      
    
      		
    
      
			
      
								
      

      

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全自動勻膠顯影機



      

      

      

 
      
	
	
      
		
      
	
      	
  
  
  
      
 
      
 





                                      
                                
			
      

      




      

      


	
      全自動勻膠顯影機
      

          發布時間: 2020-03-24 16:35    
      

      

      產品特點： 
      　   同一設備實現2"-12"晶圓
      　   涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能
      　   同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行
      　   設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾
      　   可獨立增加層流罩，提升小環境潔凈度
      　   干濕分離，電液分隔
      　   維護省力、簡便
      


      




      
	
      
		
       
      
		
		
      
	
      
	  
      
	
      
	
      
		
      
		
      
        
			
                 
			  
      
              
      
					
        
						
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一、spin unit勻膠單元平面圖：
      

      
       
									
      
								
      
							
      
						
      
					
      
				
      
			
      
		
      
	
      

      

      
	
      

      

      

      
	                                                                                                   二、OVEN UNIT：熱板-HOT PLATE、冷板-COOL PLATE、HMDS 
      

      
       

      

      
	 

      

      
                                                                                                   熱板烘烤單元的加熱源，對于半導體硅片的工藝設備，軟烘及顯影的烘烤，對于熱源的均勻性要求也很高，
      
                                                                                                   M+公司自已開發的加熱源，此裝置對于烘烤的精度效果會便好。
      

      

      
	
      

      
                                                                                                   自動勻膠機、自動顯影機、單片清洗機的設備都配有熱板單元，以下是M+公司的清洗單元：
      

      

      
	 

      

      
	
      

      

      
	                        

      	
      

          
      
	   
	
		
      
			
      
	
	
      

          
      
     
      	


      





 

	  
	


 
  
	

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