自動勻膠顯影機
使用范圍：
pumping高端封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影；
產能：預估100wafer/H;
產品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產品、邏輯類、存儲類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領域。