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方形基片勻膠機，型號M+/C450-40，主要用于完成方形基片（全息光柵涂膠機）、大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝
玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm)； 方便手動放置、提取基片-主軸可做升降運動； 自動完成基片進行滴膠、布膠、勻膠等工藝； 自動送料機構--（可選）； 真空系統根據工藝--（可選）； 金屬外殼材料，鑲嵌式固定方式。
工藝涂布效果圖：
機臺效果圖
