一、產品使用范圍： ? 彎月牙涂膠基板尺寸：1400 mm×420 mm×200 mm)； ? 液體膠刀的有效尺寸為：420mm： 二、設備概述：此膠狹縫系統包括供膠系統、精密膠刀、平面度調節機構、膠盒移動等部件組成。 ? 供膠系統：伺服電機帶動磁力泵供給膠刀，回流過濾循環供給，膠泵采購進口壓力流量可調的磁力泵。 ? 精密膠刀：膠刀出液狹縫可調，可適應100CP-200CP的光阻藥液。同時出液的高度（0.15-0.25mm）通過調整泵的供壓力及狹縫配合來調 ? 面度調節機構：膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內的螺釘進行調平，膠刀與連接平面也可調整，膠刀與基板的平面通過機械方式也可調整。 ? 利用電磁閥及氣缸來實現膠盒蓋的上下、左右方向的移動。 三、設備控制設計： ? 供泵系統膠泵為伺服電機，膠泵的壓力、流速通過調節電機的轉速控制。 ? 膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥（氣缸都裝有上下，左右位置檢測傳感器）。 ? 基板移動加有接近開關（主要用于檢測基板是否移過）。