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型號:M+-DS200C 主要特點:適應尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能主軸采用德國進口電機及部件高轉速、高精度±1RPMFFU功能(可選)
型號:M+-DS200C 主要特點: 適應尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片 具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能 主軸采用德國進口電機及部件 高轉速、高精度±1RPM FFU功能(可選)
型號:M+-DS200C 主要特點:
適應尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片 具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能 主軸采用德國進口電機及部件 高轉速、高精度±1RPM FFU功能(可選)