勻膠機、顯影機、全息光柵勻膠機、全息光柵顯影機、全自動勻膠顯影機、半自動勻膠機、半自動顯影機

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廢氣處理

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半導體晶圓清洗機－WET BENCH

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<p>RCW<br/></p>
冷板熱板一體機

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<p>冷熱板烘烤單元－愛姆加制造</p>
熱板爐 M+HP200

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<p><span style="font-size: 14px;">主要用途: <br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>主要用半導體工藝生產中烘烤晶圓等(如:涂膠/顯影/光刻等工藝之后的烘烤)</span></p>
全自動勻膠顯影機

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<p><span style="font-size: 14px;">產品特點： <br style="color: rgb(134, 134, 134); font-family:;" microsoft=""/>      設備實現2"-12"晶圓兼容<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      可獨立增加層流罩，提升小環境潔凈度<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      干濕分離，電液分隔<br style="color: rgb(80, 80, 80); text-indent: 24px; font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>      維護省力、簡便</span></p>
超聲波噴霧涂膠機

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<p><span style="font-size: 14px;">用途：</span></p><p><span style="font-size: 14px;">噴霧式涂布機主要用于開發研究和各種半導體器件（MEMS)和微機械。對應于超厚膜涂層，它是很難通過常規的旋涂機微粒的化學溶液，以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。</span></p><p><br/></p><p><br/></p>

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