一、使用領域:
? IC半導體、LED、Bumping、化合物、SIC、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
? Spin motor主軸轉速：0-8000rpm±1rpm
? Uniformation膜厚均勻性：＜0.5％
? Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
? MTBF：≥1500小時Uptime：95％
二、涂膠單元 Coater Uint： 膠盤：Teflon，Delrin
? 可編程移動式滴膠-
? 最多可配3路噴嘴
? 正/背面去邊清洗
? 主軸電機：伺服電機（最高速：8000rpm）
? 勻膠溫度控制（選配）
? 噴嘴預清洗（選配）
? 環境溫濕度控制（選配）
三、顯影單元 Developer：
? 膠盤:Delrin
? 4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
? 主軸電機：伺服電機（最高速：8000rpm）
? 背面清洗
? 滴液方式：膠泵或壓力罐
? 液體溫度控制（選配）
? 排風控制
? 體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)
