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勻膠顯影機的功能

      

      

      


      
	  
   
 
       
 

      









                                      
                                
			
      

      




      

 

	
      勻膠顯影機的功能
      

	
	
      
		
      
	來源:
	|
	作者:pmoe2a7d5
	|
	發布時間: 2020-03-27
	|
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勻膠顯影機一般由四部分組成。第一部分是晶圓盒工作站（wafer cassette station），晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手（robot arm）從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分（process block），即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體，增粘模塊（adhesion enhancement）、熱盤（hot plate）、冷盤（chill plate）、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯機的接口界面（interface），包括暫時儲存晶圓的緩沖盒（buffer）、晶圓邊緣曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻機交換晶圓的接口等。

      
 
      

      

      
                    
      
		
      

	
      
  		
      
			
      
	
      



          
      
     
      	


      





 

	  
	


 
  
	

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